清初，在行政区划上沿袭明布政使司之制，设1直隶和14布政使司。以后又陆续增设了3个布政使司，并改布政使司为省。1884年之前，清帝国在内地共设18省。1884年，清廷在原伊犁将军辖区设置新疆省；1885年，析福建省置台湾省；1907年，改盛京、吉林、黑龙江3将军辖区为奉天、吉林、黑龙江3省。至清末，全国共设22省：直隶、奉天、吉林、黑龙江、山东、山西、河南、陕西、甘肃、新疆、江苏、安徽、浙江、福建、江西、广东、广西、湖南、湖北、四川、贵州、云南（不含已被日本侵占的台湾省）。此外，相当于省级的地方还有西藏办事大臣辖区、西宁办事大臣辖区、乌里雅苏台将军辖区和内蒙古地区。清朝中叶，全国人口已达4亿以上，平均下来，一个省的人口2000万，超过世界上多数国家。省之下又有道、府（直隶州、厅）、县（散州、厅）三级行政建制，基层的民情很难上达朝廷。因此，清末的维新派人士很早便对省制提出了疑问。

康有为于1888年12月3日致书曾纪泽，向他请教欧洲国家的行政体制。他在信中说：“今泰西之言治道，可谓盛矣。其美处在下情能达。……其令长之上有几重耶？抑能直达其君相也？若上有道府，则事权阻挠甚矣。若能直达，则英、法之大，属地又多，奏摺互繁，岂能尽览而一一批行之？得无如汉制以郡领县，而更无他督、抚、藩、臬、司、道耶？其令长以下之官几何？”在几天后的《上清帝第一书》中，他批评了当时的官制，首次提出了“变成法、通下情、慎左右”的主张。

1895年5月2日，康有为在《上清帝第二书》中，提出废除省制的具体建议：“今请首停捐纳，乃改官制，因汉世太守领令长之制，唐代节度兼观察之务，每道设一巡抚，上通章奏，下领知县，以四五品京堂及藩臬之才望者充之。其知县升为四品，以给御、编检、郎员及道府之爱民者授之。其巡抚之下，增置参议、参军、支判，凡道府同通改授此官。其知县之下，分设公曹、决曹、贼曹、金曹，以州、县进士分补其缺。其余诸吏皆听诸生考充，渐拨曹长，行取郎官。其上总督，皆由巡抚兼管，各因都会，以为重镇。”在戊戌变法前夕的《上清帝第六书》中，康有为抨击道：“藩、臬、道、府，拱手无事，皆为冗员，徒增文书费厚禄而已。一省事权，全在督抚，然必久累资劳，乃至些位，地大事繁，年老精衰，旧制且望而生畏，望其讲求新政而举行之，必不可得。”他仍然主张“宜用汉制”，但把“每道设一巡抚”的建议改为“每道设一民政局，妙选通才，督办其事”。

康有为的建议得到光绪皇帝的赏识，但不久就发生了戊戌政变，百日维新成果付之东流，康有为、梁启超等亡命海外。20世纪头几年中，梁启超的思想相当激进，几乎与革命派不相上下，他与欧榘甲等积极鼓吹十八省分立之说。欧榘甲著《新广东》一书，称：“故窥现今之大势，莫如各省先行自图自立，有一省为之倡，则其余各省，争相发愤，不能不图自立。……吾广东人，请言自立自广东始。”康有为闻讯，急忙作《与同学诸子梁启超等论印度亡国由于各省自立书》，以极其严厉的口吻教训道：“呜呼！何为出此亡国奴种之言也？……吾四万万之同胞，而欲亡国奴种也，其速为印度各省之独立也；吾同胞而不欲亡国绝种也，其无效印度各省之革命自立也。……若中国各省真能自立，则基址浅薄，国界不定，国势未立，人心未坚，争乱未己，尚未能比印度各省藩臣之自立，而乃妄比欧洲千年之老国，岂不谬哉？况其必不能成而徒取乱乎？”康有为从梁、欧的言论中看到了各省分立的现实危险性，因而更加迫切地呼吁废省。

在1903年的《官制议》中，康有为猛烈抨击了当时的省制：“疆吏则督抚专辖数千里，有同一国。……夫立国之道，兵食为先，而财政兵政皆散在各省，如何筹饷，如何练兵，如何开制造局，如何开军械局，如何开银行，如何铸钱币，一皆听各省督抚之各自为谋，为者听之，不为者亦听之，……夫方今欧、美各国，无论强弱大小治乱，而无不中央集权，举兵财二者统之于政府矣。而吾国分张散漫失纪如此，其何立于竞争之世哉！”他认为，变政必从官制始，而官制有三：一曰为民，一曰为国，一曰国与民之交关。“为民制者，莫如公民自治；为国与民交关制者，莫如析疆增吏；为国制者，莫若多设分职，中央集权。”“中国今日亟宜行立宪法，亟宜开议院，此议官制有一无二之要政也。”他建议由每府地方议会公举议员一人，首府举三人，繁府举二人，直隶州亦得举一人；或者每道一人，首道三人，繁道二人。显然，康有为在这里把府或者道作为最高级地方团体。

梁启超受到康有为的严厉批评后，放弃了革命分立的鼓吹，转而附和老师的废省主张。在1910年的《外官制私议》中，他替“改省为道”倡议者归纳了八条理由：1.现制不能保政治之统一；2.缘此而中央施政之范围太狭；3.缘此而财政计划极难善良；4.缘此而弛内阁之责任；5.督抚无责任之道；6.欲免此诸弊而行中央集权，督抚惟以地方行政长官之资格奉令承教，不得自为政治上的计划，今制之督抚遂成赘疣；7.督抚为国家政务官，辖治之境域较广，规划始能见其大，若仅为地方行政官，行政区域则不宜太大；8.省界为国家主义发达之障，苟将省区改置，则此种结习，不期而自消。同时，他也为主张省区不能骤改者设想了三条理由：1.今制虽内阁不得人，恃有二三贤督抚为一地方之保障，而人民受病之程度稍得减轻；2.以我国幅员之广，以各省阂隔之远，利害之殊，重以交通机关百不一备，虽内阁得人而揆诸现在情形终不能缺督抚之一级；3.今制有历史上之根据不能骤革，否则民听易惑，或且动摇社会秩序之基础。梁启超认为两方面均有极强之论据，因而提出了一种折衷意见，即：“其一，将政务性质之万不能分赋予各地方者，提而集诸中央，使中央施政范围渐恢，经若干年后，督抚乃纯变为地方行政长官之性质；其二，将国中一部分地方，改为中央直辖地。”凡直隶地方不设督抚，在民政部设一直隶地方政务局，专监督直隶地方之行政；直隶地方以今制之县为最高行政区域，大县谓之府，中县谓之州，小县谓之县。改革伊始，先以直隶省为直隶地方，俟办理有效，乃推及沿江沿海各省，更推及腹地各省。

梁启超逐步推行裁督抚废行省的主张，遭到戴季陶的强烈抨击，他在《天铎报》上撰文指责梁启超“废行省以长君权”，“是欲举全国人民举变为中央政府之奴隶也”。他认为：“吾国各省之性质与德意志联邦各国及北美之各州相类似，而将来建设制度，亦必非如北美各州之性质不可。故中央政府与各省之关系，为联合国家之关系，而非统一关系。”“吾民欲求民权之增长，必不能不由地方分权而扩张省议会之权，如美国之州议会者，一面联合各省以维持统一之国家，一面施行政治以图地方之发达。乃梁启超谓必废省置道，改分治为直隶，如是则直欲以日本小专制国之法而施诸吾平等之大陆国民也。”

辛亥革命的爆发，正如梁启超、欧榘甲当年所鼓吹，先由一省揭竿而起，宣告独立，其余各省争相愤发，群起响应，惟首义之省不是广东而是湖北。按照事态的发展，在各省独立基础上建立的中华民国，实行戴季陶主张的地方分治似乎是大势所趋。然而，当时的政治领袖，无论革命党、立宪派、前官僚，除同盟会中孙中山一系外，多信奉中央集权的政策，亦赞同废省论。

革命元勋章太炎创建统一党，以“固结全国领土，厘正行政区域”为第一条政纲，并主张改省为道。在复日人今井嘉宰书中，章太炎详细探讨了改省存道的理由，要旨如下：1.土地广阔，不能细悉其治；2.今行省之制，民情风俗之异不恤，户口土地之籍难周；一省所辖，大者百余县，小者亦不损六七十县，欲以一长官兼统其事，丛脞已甚。他指出：剖一省为数道，全国不过六七十道，隶于中央，一道所领，不过二三十县，如是，则地方之治不纷，中央政令易行。袁世凯亲信、民国首任直隶都督张锡銮通电全国，称废省改道有三大利，请求“先从直省实行，为天下倡”。

民国元年，袁世凯政府就省制问题先后向临时参议院提出两个草案。其中第二个草案是袁世凯于10月12日在总统府邀集旧日任督抚之沈秉、孙宝琦、李盛铎、齐耀琳等人与总统府秘书长梁士诒一起研究拟定的。该草案认为：“欲为根本之解决，宜废省存道，以道辖县。”它提出了两种具体办法：（甲）分全国为四十乃至五十余道。道一面为国家行政区划，又一面为自治团体。设道总监为行政长官，直隶于内务部。设道会、道董事会、道总董为自治机关。每道辖县四十乃至五十有余。县为国家行政区划，并为自治团体，与道同。设县知事为县行政机关，设县会、县董事为县自治机关。每县辖镇若干，乡若干。镇乡纯为自治团体。以上甲种办法为两级制。若以分析各省为不便，则拟用乙种办法如下。（乙）悉如甲种办法，惟仍留省制。合若干道为一省。省置中央专使一人，名称另定，专司监督各道，不为自治团体，故无省议会等自治机关。以上乙种办法为虚三级制。10月18日，国务会议根据上述乙种办法制定了虚三级制之大纲。黄远生称其“实为废省之先声，为省制上之一大改革”。梁启超则称之为“废省置道之过渡”。

政府“虚三级制”方案提出后，康有为写了一篇洋洋洒洒的长文《废省议》，力陈“去府存省道”之必不可行。他说：“废省之议，即在平世为治，已在所必行。鄙人倡言二十余年，上言之于朝，履发之于所作《官制考》及《国风报》，至今岁国人逐渐有改省为道之议，但省固在必废，即道亦唯可为军政区，而不宜为民政区，必以府州为行政区，乃适其宜。”“昔吾戊戌上书，及著《官制考》，以人才寡乏，骤难改府，固权以一道为行政至大之区，而少须后时改道存府，此一时之权论耳。合举国皆以道为然，政府亦已行之，然今实不可也。为今之计，政区只立府县二级。其道制可存者，惟边要岩疆耳。”然而，康有为府县二级制的主张再次超前于时代，并没有受到时人的重视。

1913年8月26日，熊希龄就任国务总理，9月11日，由梁启超担任司法总长的熊希龄内阁组成。梁启超起草的《政府大政方针宣言》经国务会议讨论通过，以熊希龄等国务员的名义于11月13日正式宣布。《宣言》指出：“行政区域太大，政难下逮，且监督官层级太多，则亲民之官愈无从举其职。元、明、清之治所以不及前代，职此之由。今拟略仿汉、宋之制，改定地方行政为两级，以道为第一级，以县为第二级。县分三等，道署设诸司，在府中分曹佐治，县署诸科略如道制，且于繁剧边远之县，酌设承尉分驻县四境。中央则以时设巡抚使按察诸道，举劾贤否，不以为常官也。其有大政，合数到乃克举者，亦为置使以管之，如是则臂指之用显，而治具略张矣。”熊希龄内阁还拟定了改省为州和改州为道两个草案，前者将全国22省划分为83州，后者则将22省划分为80道。

熊希龄内阁号称“第一流人才内阁”，阁员中有梁启超、汪大燮、张謇等著名人士，并在组阁时得到袁世凯承诺，对责任内阁“绝不掣肘”，上台后很想有所建树。但是，袁世凯不过是拿“第一流人才内阁”作幌子，并不真正支持他们的政见；军民分治、废省改道则降低了封疆大吏的权力，严重触犯其既得利益；所以，当熊希龄在袁世凯用以取代国会的政治会议上说明内阁废省计划时，各省代表“群起反对”，并对熊本人“肆为揶揄戏弄”。著名记者黄远生1914年1月12日撰文评论道：“内阁命脉既在大政方针，故梁任公以方针用舍为去留之决心，则自夙昔已有成竹。而今者废省问题殆有不能实行之势，要人纷纷反对，已见报端。省之下设道，道之下为县，已复于前清三级之制矣。乃前此所议不常设不普设之巡按，近且渐议普设，渐议巡按得兼辖国税厅长及审判厅长，果尔则直无异于巡抚。虽其得失是非另一问题，但此议果行，则与今内阁之改革根本计划相反。故今内阁若倒于政见，则省制必为其根本原因。”果然不出黄远生所料，一个月后梁启超即愤而言之：“大政方针本出自予一人之手，前之不忍去者，实待政策之实行，今已绝望，理应辞职。”1914年2月，仅存5个月的“第一流人才内阁”被迫下台，废省改道的“政府大政方针”也就成为一纸空文。

1917年段祺瑞担任国务总理时，梁启超、汪大燮、范源濂等研究系人士再次入阁。与梁启超关系密切的范源濂兼任内务总长一职后，经过精心策划，于1917年春以内务部名义公布了《划分全国行政区域意见书》与《拟划全国行政区域说明书》，征求各界讨论。《说明书》指出：“我国省制……辖境过大，军民混合，小之生吏治窳败之弊，大之种藩镇割据之忧。故应时会之潮流，当然应在淘汰之列。”《意见书》主张采用郡县两级制，以郡统县，郡的区域“斟酌于秦汉之间，辖地大小亦与之相埒。”划分的依据共九条：1.面积；2.山川形势；3.地理沿革；4.辖县；5.交通；6.参酌人口财赋；7.有华离交错者酌量划拨；8.搜集增设省道各成案，特立新区；9.固边圉。根据以上标准，全国除外蒙古及西藏外，划分为57郡、7特别区域。《意见书》最后指出：“当此改革地方制度，破除省界之时，预定方针，期在必赴。”

正当研究系准备推行废省改郡时，政局又一次出现动荡，先是府院之争，接着是张勋复辟，然后是南北战争，改革地方制度的周密计划在战火纷飞中再次破灭。此后，中央政府的权威日益衰落，梁启超、章太炎等中央集权的积极倡导者转而支持“联省自治”，废省之说便再也无人提及。